一种基于表面等离子激元的薄膜型光准直器
文献类型：专利
| 作者 | 崔艳霞; 张收; 李国辉; 韩国华; 郝玉英; 张锋; 何赛灵 |
| 发表日期 | 2013-08-07 |
| 专利号 | CN103235417A |
| 著作权人 | 太原理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于表面等离子激元的薄膜型光准直器 |
| 英文摘要 | 一种基于表面等离子激元的薄膜型光准直器是由衬底和金属光栅构成，所述衬底是一承载金属光栅的玻璃衬底；所述金属光栅是由在衬底上通过真空热镀膜技术或磁控溅射技术交替制作金属薄膜与介质薄膜获得的金属介质交替膜与在金属介质交替膜上通过双光束干涉曝光技术及剥离技术制作的金属表面光栅结构构成。本结构首次利用金属介质交替膜将高斯光变为平面光，同时具有扩展光束宽度的能力；结构紧凑，体积小，器件总厚度为波长量级；基于制备工艺简单且成本较低的金属介质交替膜支撑金属表面光栅并导通光，避免了制作成本较高的带通孔金属膜；可集成制作于半导体激光器、发光二极管、光纤或光纤激光器的端面，用于改善光束的发散角，获得准直光。 |
| 公开日期 | 2013-08-07 |
| 申请日期 | 2013-04-23 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65196]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 太原理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔艳霞,张收,李国辉,等. 一种基于表面等离子激元的薄膜型光准直器. CN103235417A. 2013-08-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。