一种基于激光显微干涉的多功能测量装置
文献类型：专利
| 作者 | 王淑珍; 王生怀; 常素萍; 谢铁邦 |
| 发表日期 | 2009-06-17 |
| 专利号 | CN101458073A |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于激光显微干涉的多功能测量装置 |
| 英文摘要 | 本发明公开了激光显微干涉多功能测量装置，该测量装置由激光显微干涉原理的位移测量装置、触针位移检测装置及光电接收器组成。从半导体激光器发出的光，经透镜、孔径光栏、视场光栏后，再经透镜后变成一束平行光，分光棱镜将其分成两束，一束光经过显微物镜射向参考镜，另一束光经另一个显微物镜射向被测面或接触位移检测测量头的反射组件上，反射后的参考光束和被测光束在分光镜的分光面处相遇，并产生干涉条纹。干涉条纹由光电接收器接收。本发明具有测量精度高、测量功能多、结构简单、成本低等特点。该测量头可用于对超精密表面的粗糙度，MEMS器件的几何尺寸、形状、振动等的接触或非接触测量，测量范围为0～100um、分辨率可达0.02nm。该装置可装纳米探针，实现纳米形貌的测量。 |
| 公开日期 | 2009-06-17 |
| 申请日期 | 2009-01-06 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65455]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王淑珍,王生怀,常素萍,等. 一种基于激光显微干涉的多功能测量装置. CN101458073A. 2009-06-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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