基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法
文献类型：专利
| 作者 | 陈兴林; 刘帅; 刘宇维; 杜靖 |
| 发表日期 | 2014-08-13 |
| 专利号 | CN103983247A |
| 著作权人 | 哈尔滨工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法 |
| 英文摘要 | 基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法，涉及基于二次平台的倾角测量方法，属于超精密仪器设备测量系统的测量方法。为了解决采用光栅式编码器不适用于二次平台及六自由度气浮台系统的问题以及采用倾角传感器在二次平台动态工作时精度差的问题。本发明通过旋转半导体激光器旋转扫描周围的线阵CCD，在线阵CCD屏幕上留下高度不等的光点，得到线阵CCD屏幕上光点的高度数据。将相邻的线阵CCD上光点的高度数据信号发送给数字信号处理器。根据光点的高度信号求解光点构成平面的倾角α，根据误差对倾角α进行补偿，将补偿后的倾角α0作为当前平台的倾角。本发明适用于二次平台的倾角测量。 |
| 公开日期 | 2014-08-13 |
| 申请日期 | 2014-05-16 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65458]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 哈尔滨工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈兴林,刘帅,刘宇维,等. 基于二次平台线阵CCD的倾角测量方法. CN103983247A. 2014-08-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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