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一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置及方法

文献类型:专利

作者郭钟宁; 陈玲玉; 张冲; 刘莉; 张文斌; 吴玲海
发表日期2017-08-15
专利号CN107042363A
著作权人广东工业大学
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置及方法
英文摘要本发明实施例提供的一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置,包括:激光器、水槽;水槽上方开口,水槽装有液体,水槽中设置有待加工的热沉叠片,热沉叠片浸没于水槽中的液体;激光器对齐于热沉叠片上方,用于发出高能脉冲激光至热沉叠片,通过将热沉叠片设置于液体中然后进行激光加工,激光与液体共同作用,使得激光加工的熔池能量更为集中,使熔融材料去除干净,有效减少了熔融材料的再涂覆,提高了加工质量,既能够减小激光加工热效应的影响,又能够保证精确加工出微通道,同时激光加工效率高,解决现有的切割技术中利用线切割、刻蚀加工等不易加工出,利用激光切割热效应大,变形严重的技术问题。
公开日期2017-08-15
申请日期2017-04-26
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65485]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位广东工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
郭钟宁,陈玲玉,张冲,等. 一种加工大功率半导体激光器热沉叠片的装置及方法. CN107042363A. 2017-08-15.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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