面発光レーザ素子およびレーザアレイの作製方法、ならびに画像形成装置
文献类型：专利
| 作者 | 入野田 貢 |
| 发表日期 | 2009-12-24 |
| 专利号 | JP2009302113A |
| 著作权人 | 株式会社リコー |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面発光レーザ素子およびレーザアレイの作製方法、ならびに画像形成装置 |
| 英文摘要 | 【課題】高信頼性の面発光レーザアレイ(VCSEL)の作製方法を提供すると共に、作製した面発光レーザアレイを用いた高速または高解像度の書き込みが可能な画像形成装置を実現する。 【解決手段】VCSEL素子は、少なくとも一部がA1組成の異なるAlGaAs高屈折率層と低屈折率層とからなるDBR(反射鏡)102,106とDBRで挟まれた活性層103を有し、選択酸化層105により電流挟窄を行う面発光レーザ単素子(VCSEL単素子)において、VCSEL素子に電流を注入するための配線であって、凸部であるVCSEL素子のメサ上部からメサ底部を接続するメサ側壁部配線幅W2は凹部であるメサ底部に形成された配線幅W3よりも広いことを特徴とする。 【選択図】図6 |
| 公开日期 | 2009-12-24 |
| 申请日期 | 2008-06-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65488]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社リコー |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 入野田 貢. 面発光レーザ素子およびレーザアレイの作製方法、ならびに画像形成装置. JP2009302113A. 2009-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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