一种调整半导体激光器波长的方法
文献类型：专利
| 作者 | 殷方军; 李沛旭; 苏建; 蒋锴; 徐现刚 |
| 发表日期 | 2016-03-30 |
| 专利号 | CN105449516A |
| 著作权人 | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种调整半导体激光器波长的方法 |
| 英文摘要 | 一种调整半导体激光器波长的方法，包括以下步骤：（1）将加工好的半导体激光器外延片解理成巴条；（2）将巴条放入镀膜机中，镀膜机抽真空后对巴条烘烤；（3）达到步骤（2）中所述烘烤温度和真空度后，在巴条前腔面蒸镀增透膜，改变前腔面的反射率；（4）在后腔面上蒸镀高反膜，交替蒸镀光学厚度为λ/4的高低折射率镀膜，λ为半导体激光器的波长，使后腔面反射率大于98%。该方法可以主动双向调节半导体激光器波长，工艺简单，易于实现，可以在一定范围内调整半导体激光器的波长，提高了半导体激光器波长的对档率。 |
| 公开日期 | 2016-03-30 |
| 申请日期 | 2015-12-30 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65741]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 殷方军,李沛旭,苏建,等. 一种调整半导体激光器波长的方法. CN105449516A. 2016-03-30. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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