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一种用于半导体激光器的金属键合方法及其半导体激光器

文献类型:专利

作者刘兴胜; 王警卫; 邢卓; 侯栋; 李小宁; 沈泽南
发表日期2017-04-05
专利号CN106558831A
著作权人西安炬光科技股份有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种用于半导体激光器的金属键合方法及其半导体激光器
英文摘要本发明公开一种用于半导体激光器的金属键合方法及其半导体激光器,使用本发明的半导体激光器用金属键合法方法制备的半导体激光器可靠性高,缺陷少,通过施加热加压保压使得半导体激光器芯片上的金属键合媒介层与散热器表面的关键层形成合金相结构,达到半导体激光器芯片和散热器结合紧密的目的,降低了空洞等缺陷,在进行金属键合时,需求温度低于关键层材料熔点以下,可以降低由于散热器与半导体激光器芯片热膨胀系数不匹配导致的较大热应力。
公开日期2017-04-05
申请日期2015-09-30
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65752]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安炬光科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
刘兴胜,王警卫,邢卓,等. 一种用于半导体激光器的金属键合方法及其半导体激光器. CN106558831A. 2017-04-05.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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