光素子作製方法
文献类型：专利
| 作者 | 中尾 正史 |
| 发表日期 | 1999-01-29 |
| 专利号 | JP1999026881A |
| 著作权人 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光素子作製方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 回折格子の形状を精度良く評価することで、これを用いた半導体レーザなどの光素子を無駄を抑制した状態で作製できるようにする。 【解決手段】 非接触モードの原子間力顕微鏡(atomic force microscope:AFM)により、回折格子5を形成した段階で、その回折格子5の形状を観察し、良否を判断する |
| 公开日期 | 1999-01-29 |
| 申请日期 | 1997-07-04 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65767]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 中尾 正史. 光素子作製方法. JP1999026881A. 1999-01-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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