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半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム

文献类型:专利

作者直江 和彦; 青木 雅博; 佐藤 宏; 東盛 裕一
发表日期1999-05-28
专利号JP1999145558A
著作权人HITACHI LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム
英文摘要【課題】 半導体光素子の実装歩留まりを良好にする。 【解決手段】 半導体基板101上に多重量子井戸活性層102を形成し、多重量子井戸活性層102上にリッジ導波路105を形成し、リッジ導波路105の両側にクラッド層701を形成し、クラッド層701のリッジ導波路105の両側部に平坦化層702を形成し、リッジ導波路105の両側壁上、クラッド層701上および平坦化層702上にシリコン酸化膜106を形成し、シリコン酸化膜106上にリッジ導波路105と接続された上部電極107を形成し、上部電極107上にソルダ110を形成し、ストライプ状凸部111の両側に凸形状部703を形成し、凸形状部703の突起面の半導体基板101表面からの距離とストライプ状凸部111の突起面の半導体基板101表面からの距離とをほぼ同等とする。
公开日期1999-05-28
申请日期1997-11-05
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65851]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
直江 和彦,青木 雅博,佐藤 宏,等. 半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム. JP1999145558A. 1999-05-28.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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