半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム
文献类型:专利
作者 | 直江 和彦; 青木 雅博; 佐藤 宏; 東盛 裕一 |
发表日期 | 1999-05-28 |
专利号 | JP1999145558A |
著作权人 | HITACHI LTD |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム |
英文摘要 | 【課題】 半導体光素子の実装歩留まりを良好にする。 【解決手段】 半導体基板101上に多重量子井戸活性層102を形成し、多重量子井戸活性層102上にリッジ導波路105を形成し、リッジ導波路105の両側にクラッド層701を形成し、クラッド層701のリッジ導波路105の両側部に平坦化層702を形成し、リッジ導波路105の両側壁上、クラッド層701上および平坦化層702上にシリコン酸化膜106を形成し、シリコン酸化膜106上にリッジ導波路105と接続された上部電極107を形成し、上部電極107上にソルダ110を形成し、ストライプ状凸部111の両側に凸形状部703を形成し、凸形状部703の突起面の半導体基板101表面からの距離とストライプ状凸部111の突起面の半導体基板101表面からの距離とをほぼ同等とする。 |
公开日期 | 1999-05-28 |
申请日期 | 1997-11-05 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65851] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | HITACHI LTD |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 直江 和彦,青木 雅博,佐藤 宏,等. 半導体光素子、送受信モジュールおよび光通信システム. JP1999145558A. 1999-05-28. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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