半導体光制御素子およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 小松 啓郎 |
| 发表日期 | 1993-01-29 |
| 专利号 | JP1993021904A |
| 著作权人 | 日本電気株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体光制御素子およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 再現性良く、歩留り良く製造することができる、低損失で、かつ微細な光導波型の半導体光制御素子を提供する。 【構成】 半導体導波型光制御素子を製作する際に、半導体をエッチングしてリッジを形成するのではなく、平坦なダブルヘテロ結晶上に誘電体をマスクとして選択的にリッジ131を成長する。このとき、リッジ側面130も平滑な結晶面とすることができるので、散乱損失の無い超低損失な導波型光制御デバイスを実現できる。しかも、この製造方法においては、半導体のエッチングは不要であり、エッチングを行うのは薄い誘電体膜のみであるので、微細な導波型半導体光制御デバイスを再現性良く、広い面積にわたって製造することができ、集積化や量産化に適する。 |
| 公开日期 | 1993-01-29 |
| 申请日期 | 1991-07-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65926]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本電気株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 小松 啓郎. 半導体光制御素子およびその製造方法. JP1993021904A. 1993-01-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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