回折格子及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 坪田 孝志; 細井 洋治 |
| 发表日期 | 1993-11-12 |
| 专利号 | JP1993299761A |
| 著作权人 | OKI ELECTRIC IND CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 回折格子及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 溝の深さは同一でありながら、結合係数を分布させ、しかもホトリソ工程、エッチング工程も一回ですむ回折格子とその製造方法を提供する。 【構成】 InP基板11上に電子ビーム露光用レジスト12をコーティングする。これに対してスポット径が、例えば0.05μmの電子ビームを用いてInP基板11の右部分の露光部分13の線幅を0.05μm、InP基板11の左部分の露光部分14の線幅を0.12μmとして露光を行なう。この時、未露光部分が前者では0.19μm、後者では0.12μmとする。これにより、0.24μmピッチの回折格子レジストパターン15をInP基板11の全面に形成できる。その後、例えばドライエッチングにより、InP基板11に回折格子16を転写し、電子ビーム露光用レジスト12を除去する。 |
| 公开日期 | 1993-11-12 |
| 申请日期 | 1992-04-22 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65997]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | OKI ELECTRIC IND CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 坪田 孝志,細井 洋治. 回折格子及びその製造方法. JP1993299761A. 1993-11-12. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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