リッジ型半導体光デバイス及びその作製方法
文献类型：专利
| 作者 | 中西 正浩 |
| 发表日期 | 1999-01-29 |
| 专利号 | JP1999026886A |
| 著作权人 | CANON INC |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | リッジ型半導体光デバイス及びその作製方法 |
| 英文摘要 | 【課題】なだらかな端面を持つ樹脂をリッジ等の段差近傍の限られた箇所のみに配置する半導体光デバイスの作製方法及びその半導体光デバイスである。 【解決手段】リッジ状の光導波路を有するリッジ型半導体光デバイスの作製方法において、なだらかな端面を持つ樹脂13をリッジ11a等の段差近傍の限られた場所のみに配置するために、樹脂13塗布後、熱処理は乾燥程度の低温で行い、樹脂13上のフォトレジストパターンを焼き付け、フォトレジスト14現像時に現像液で現像と同時に樹脂13を溶解してパターンを作る。感光性樹脂塗布後、パターンを焼き付けて現像しリッジ近傍の所定の場所に感光性樹脂パターンを作ることもできる。 |
| 公开日期 | 1999-01-29 |
| 申请日期 | 1997-07-08 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66051]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | CANON INC |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 中西 正浩. リッジ型半導体光デバイス及びその作製方法. JP1999026886A. 1999-01-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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