光送受信器及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 渡辺 斉 |
| 发表日期 | 1996-11-22 |
| 专利号 | JP1996304671A |
| 著作权人 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光送受信器及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 半導体レーザと導波路との光学的アライメントを容易にする光送受信器を得る。 【構成】 共通Si基板10上に、半導体レーザ2、フォトダイオード、誘電体合分波器7を形成するに当たり、SiO2 /TiO2 /SiO2 の3層誘電体膜を形成し、3層誘電体膜及びSi基板10を一定深さまでエッチング除去して、その除去した部分上に半導体レーザ2をボンディングした後、(a)半導体レーザ2上のアライメントマーカ16により位置合わせして、導波路パターン15を転写し、(b)エッチングにより誘電体合分波器7を形成する。 【効果】 半導体レーザを基準にして、導波路の形成位置を決めるため、容易に精度よく形成できる。 |
| 公开日期 | 1996-11-22 |
| 申请日期 | 1995-05-01 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66099]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 渡辺 斉. 光送受信器及びその製造方法. JP1996304671A. 1996-11-22. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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