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埋め込み型半導体装置

文献类型:专利

作者馬渡 宏泰; 福田 光男; 松本 信一
发表日期1996-09-13
专利号JP1996236855A
著作权人NIPPON TELEGR & TELEPH CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名埋め込み型半導体装置
英文摘要【目的】埋め込み構造の半導体レーザ等の埋め込み型半導体装置の作製過程において形成された転位や欠陥等の拡散による劣化モードを抑制し、長期にわたり安定して高性能を保持し得る信頼性の高い埋め込み型半導体装置を提供する。 【構成】半導体基板上に、少なくとも第1導電型のバッファ層、活性層、第2導電型のクラッド層および第2導電型の電極層を積層してストライプ状に加工したメサストライプと、このメサストライプの両側面に、少なくとも半絶縁性高抵抗層を含む電流阻止層を具備した埋め込み型半導体装置において、活性層の下からの深さが2.0μm以上有する形状のメサストライプとするか、またはメサストライプの高さを、第1導電型のバッファ層、活性層、第2導電型のクラッド層および第2導電型の電極層の各層厚の和よりも小さくし、かつ活性層、第2導電型のクラッド層および第2導電型の電極層の各層厚の和よりも大きくした構造とする。
公开日期1996-09-13
申请日期1995-02-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66119]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NIPPON TELEGR & TELEPH CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
馬渡 宏泰,福田 光男,松本 信一. 埋め込み型半導体装置. JP1996236855A. 1996-09-13.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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