光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器
文献类型:专利
| 作者 | 今井 保貴; 平松 鉄夫 |
| 发表日期 | 2006-06-08 |
| 专利号 | JP2006145756A |
| 著作权人 | SEIKO EPSON CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器 |
| 英文摘要 | 【課題】 マイクロレンズを有する光学素子の製造時において、そのマイクロレンズが変形することを回避できる光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器を提供する。 【解決手段】 VCSELウエハ100上に複数のマイクロレンズ11を形成するレンズ形成工程と、VCSELウエハ100におけるマイクロレンズ11の形成面側に、そのマイクロレンズ11を覆うように、液状体の保護部材を塗布する塗布工程とを有することを特徴とする。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2006-06-08 |
| 申请日期 | 2004-11-18 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66511] ![]() |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SEIKO EPSON CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 今井 保貴,平松 鉄夫. 光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器. JP2006145756A. 2006-06-08. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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