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光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器

文献类型:专利

作者今井 保貴; 平松 鉄夫
发表日期2006-06-08
专利号JP2006145756A
著作权人SEIKO EPSON CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器
英文摘要【課題】 マイクロレンズを有する光学素子の製造時において、そのマイクロレンズが変形することを回避できる光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器を提供する。 【解決手段】 VCSELウエハ100上に複数のマイクロレンズ11を形成するレンズ形成工程と、VCSELウエハ100におけるマイクロレンズ11の形成面側に、そのマイクロレンズ11を覆うように、液状体の保護部材を塗布する塗布工程とを有することを特徴とする。 【選択図】図1
公开日期2006-06-08
申请日期2004-11-18
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66511]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SEIKO EPSON CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
今井 保貴,平松 鉄夫. 光学素子、光学素子の製造方法、光通信装置及び電子機器. JP2006145756A. 2006-06-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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