集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 叶雄英; 伍康; 周兆英; 王晓浩 |
| 发表日期 | 2007-06-27 |
| 专利号 | CN1987486A |
| 著作权人 | 清华大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及集成光栅干涉微机械加速度传感器，包括第一玻璃片表面上设置金属光栅和电极；硅片上设置质量块，和质量块上设置N个凸台，并淀积一层反射面；及梁或膜上支撑质量块，该质量块另一端与硅片形成的键合台面连接；第一玻璃片带有金属光栅和电极的面与硅片上设置质量块的反射面相对布置，且光栅的位置与硅岛的位置相对，通过键合工艺形成一体，并且该硅片上的质量块与玻璃间形成微小间隙，组成传感器的敏感单元，光电检测电路与敏感单元的电极连接。利用光栅衍射光斑的光强随光栅面与反射面的距离的敏感变化特性，实现高灵敏度的加速度测量。利用MEMS技术和成熟的激光二极管、光电探测器，可以大规模生产，易于推广应用。 |
| 公开日期 | 2007-06-27 |
| 申请日期 | 2006-12-26 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66519]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶雄英,伍康,周兆英,等. 集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法. CN1987486A. 2007-06-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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