六边形氧化锌回音壁模微激光二极管的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 戴俊; 石增良; 朱刚毅 |
| 发表日期 | 2012-06-13 |
| 专利号 | CN102496854A |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 六边形氧化锌回音壁模微激光二极管的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种利用n型六边形氧化锌微米棒和p型氮化镓形成异质结紫外回音壁模微激光二极管的制备方法。该方法首先利用气相传输法制备具有正六边形截面的n型氧化锌微米棒，然后将单根氧化锌微米棒集成在p型氮化镓薄膜表面形成异质结，最后在氮化镓表面和氧化锌表面分别制备电极。该方法利用光线在氧化锌微米棒内的内壁全反射构成高品质的回音壁模微腔，通过选择不同尺寸的氧化锌微米棒可实现不同要求的紫外激光输出波长。器件构建过程中一个重要的工艺是在氧化锌微米棒和氮化镓之间引入一层金属锌纳米薄膜热氧化后形成的氧化锌薄层，有效地改善了界面上的电学接触，提高了载流子注入效率。 |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 申请日期 | 2011-12-27 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66655]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,戴俊,石增良,等. 六边形氧化锌回音壁模微激光二极管的制备方法. CN102496854A. 2012-06-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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