基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统
文献类型：专利
| 作者 | 马军山; 凌进中; 李晓沛 |
| 发表日期 | 2012-05-02 |
| 专利号 | CN102435148A |
| 著作权人 | 上海理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统，半导体激光器出射光准直为平行光，再由显微物镜会聚，照射到被测物体表面上。半导体激光器的发光点与光束的焦点具有共轭成像关系。由焦点处产生的散射光可由物镜收集反馈回半导体激光器谐振腔，然而离焦面产生的反馈光，由于共轭关系被破坏而不能进入激活区，反馈光进入激光腔内后，消耗谐振腔内的载流子，使激光器发射功率降低，激光器发射功率变化表征了被测物体的形貌，计算机9通过数据采集卡采集光电探测器输出的电压信号，并保存为数据文件，再结合位置数据，用处理软件对三维扫描测量数据进行处理，可以重构被测物体三维结构。系统结构简单，可以显著降低设备成本低，实用性强。 |
| 公开日期 | 2012-05-02 |
| 申请日期 | 2011-09-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66734]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 上海理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马军山,凌进中,李晓沛. 基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统. CN102435148A. 2012-05-02. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。