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一种多自由度光学测量系统

文献类型:专利

作者王选择; 于永志; 钟毓宁; 翟中生; 杨练根
发表日期2009-09-30
专利号CN101545761A
著作权人湖北工业大学
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种多自由度光学测量系统
英文摘要本发明公开了一种多自由度光学测量系统,可应用于二维小角度(或微位移)的测量。此种系统包括激光发射器、误差敏感单元、光电接收单元以及信号处理单元。误差敏感单元包括两个直角棱镜(2)、(3);光电接收单元包括光电接收器件(5)和准直物镜(4);测量位移时须把准直物镜(4)去掉。光电接收器件(5)置于准直物镜(4)的焦平面上,半导体激光器(1)发出的基准光束经直角棱镜(3)和直角棱镜(2)反射后,通过准直物镜(4)将其光斑成像在光电接收器件(5)的光敏面上,其中半导体激光器(1)和光电接收单元安装在固定位置,而误差敏感单元由夹具装夹后安装在被测物体上,随被测物体同步移动。此系统在测量过程中的光程是恒定的,从而消除由于激光发散角而引起的远近光点光束直径不同的影响。通过光斑在光敏面上的位移量计算出被测物体在运动过程中小角度(或微位移)的变化。误差敏感单元可以安装在导轨、工作台等装置上,实现其角度(或位移)的实时动态测量,测量范围大、精度高,可广泛运用与生产、检测等领域。
公开日期2009-09-30
申请日期2009-05-06
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66813]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位湖北工业大学
推荐引用方式
GB/T 7714
王选择,于永志,钟毓宁,等. 一种多自由度光学测量系统. CN101545761A. 2009-09-30.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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