三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法
文献类型：专利
| 作者 | 周延周; 谢创亮; 刘运红 |
| 发表日期 | 2016-08-24 |
| 专利号 | CN105890538A |
| 著作权人 | 广东工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法。这是一种利用迈克尔逊干涉原理，获取被测零件表面三维轮廓信息的测量系统。首先用计算机控制半导体激光器进行波数扫描，与此同时CCD相机连续拍摄不同波数下的干涉图像。通过光路中光楔前后表面的干涉图像进行波数在线监测。然后将干涉图像每个像素沿时间轴傅立叶变换，在被测零件曲面轮廓和光楔前表面干涉信号峰值处，提取卷绕相位信息。解卷绕后，得到被测零件表面三维轮廓。本发明的曲面三维轮廓测量精度为±10nm，稳定可靠，不需经常实时效验，不需参考曲面，同时保持很高的测量精度。 |
| 公开日期 | 2016-08-24 |
| 申请日期 | 2014-12-30 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66868]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 广东工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周延周,谢创亮,刘运红. 三表面干涉式高精度曲面轮廓测量系统及方法. CN105890538A. 2016-08-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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