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半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管

文献类型:专利

作者小野健一; 元田隆
发表日期1997-07-02
专利号CN1153411A
著作权人三菱电机株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管
英文摘要一种半导体器件,包含:具有表面的半导体衬底(1);由交互叠合在一起的多个第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)构成的应变超晶格结构,第一半导体层(4a)在相对于半导体衬底(1)为压缩或伸张的方向上有第一应变,第二半导体层(4b)有和第一应变方向相同但大小不同的第二应变。因此使第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)之间的应变差减小,由此应变超晶格结构的结晶质量得到改进。
公开日期1997-07-02
申请日期1996-08-14
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66918]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小野健一,元田隆. 半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管. CN1153411A. 1997-07-02.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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