曝光装置和照明单元
文献类型：专利
| 作者 | 梶山康一; 水村通伸; 畑中诚 |
| 发表日期 | 2015-12-30 |
| 专利号 | CN105209976A |
| 著作权人 | 株式会社V技术 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 曝光装置和照明单元 |
| 英文摘要 | 本发明涉及通过利用微透镜阵列将掩模上的图案成像在基板上而曝光基板的曝光装置等，并使射出曝光光的照明单元小型化。微透镜阵列(30)具有包含朝向与移动方向(A)相交的方向的排列且以二维方式配置的多个微透镜(31)，照明单元具有：排列有多个激光二极管的LD阵列条；以及照明光学系统，其将从构成该LD阵列条的多个激光二极管射出的多个发出光转换成缝形状的曝光光束，并利用该曝光光束的曝光光(170)对排成一列的多个微透镜上进行照明，关于与移动方向相交的方向，该曝光光束以跨越在该方向上排列的多个微透镜的方式扩展，并且关于移动方向，该曝光光束被限制为不会波及排列于在该移动方向上相邻的列上的微透镜的宽度。 |
| 公开日期 | 2015-12-30 |
| 申请日期 | 2014-06-16 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67007]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社V技术 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梶山康一,水村通伸,畑中诚. 曝光装置和照明单元. CN105209976A. 2015-12-30. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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