一种激光三角位移传感器及其非线性误差的修正方法
文献类型：专利
| 作者 | 丁海鹏; 王国安; 孙久春; 吴伟锋; 周飞 |
| 发表日期 | 2017-01-25 |
| 专利号 | CN106352801A |
| 著作权人 | 海伯森技术(深圳)有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种激光三角位移传感器及其非线性误差的修正方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种激光三角位移传感器及其非线性误差的修正方法，属于光电测量技术领域、包括半导体激光器、聚焦透镜组、接收透镜组、光电探测器和信号处理电路，半导体激光器和聚焦透镜组共轴，与被测目标依次排列，共同组成发射端，接收透镜组和光电探测器依次排列，信号处理电路和光电探测器相连，用于对光电探测器接收的电信号进行处理并得到被测物体的位移。本发明中的激光三角位移传感器具有非常高的位移测量精度，不仅能对普通散射物体的位移进行测量，而且能够测量镜面反射物体的位移，同时，本发明在接收透镜组中，对透镜使用了倾斜或偏心的处理，从原理上修正了其非线性误差，为改善其分辨率的不均匀问题提供了一个经济有效的方法。 |
| 公开日期 | 2017-01-25 |
| 申请日期 | 2016-10-17 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67008]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 海伯森技术(深圳)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁海鹏,王国安,孙久春,等. 一种激光三角位移传感器及其非线性误差的修正方法. CN106352801A. 2017-01-25. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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