光设备、光设备的制造方法以及激光组件
文献类型:专利
作者 | 衣川耕平; 谷口英广 |
发表日期 | 2013-11-13 |
专利号 | CN103392275A |
著作权人 | 古河电气工业株式会社 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 光设备、光设备的制造方法以及激光组件 |
英文摘要 | 光设备具备:山脊型的半导体激光元件,其形成于基板上;第一绝缘膜,其覆盖所述半导体激光元件的山脊构造的侧壁部分;第二绝缘膜,其在所述山脊构造的端部区域从所述第一绝缘膜之上覆盖所述山脊构造,且密度低于所述第一绝缘膜。优选所述第二绝缘膜的折射率小于所述第一绝缘膜的折射率。优选所述第二绝缘膜的蚀刻率高于所述第一绝缘膜的蚀刻率。由此,抑制了绝缘膜的覆盖不足。 |
公开日期 | 2013-11-13 |
申请日期 | 2012-05-31 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67021] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 古河电气工业株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 衣川耕平,谷口英广. 光设备、光设备的制造方法以及激光组件. CN103392275A. 2013-11-13. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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