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光设备、光设备的制造方法以及激光组件

文献类型:专利

作者衣川耕平; 谷口英广
发表日期2013-11-13
专利号CN103392275A
著作权人古河电气工业株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名光设备、光设备的制造方法以及激光组件
英文摘要光设备具备:山脊型的半导体激光元件,其形成于基板上;第一绝缘膜,其覆盖所述半导体激光元件的山脊构造的侧壁部分;第二绝缘膜,其在所述山脊构造的端部区域从所述第一绝缘膜之上覆盖所述山脊构造,且密度低于所述第一绝缘膜。优选所述第二绝缘膜的折射率小于所述第一绝缘膜的折射率。优选所述第二绝缘膜的蚀刻率高于所述第一绝缘膜的蚀刻率。由此,抑制了绝缘膜的覆盖不足。
公开日期2013-11-13
申请日期2012-05-31
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67021]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位古河电气工业株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
衣川耕平,谷口英广. 光设备、光设备的制造方法以及激光组件. CN103392275A. 2013-11-13.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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