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半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法

文献类型:专利

作者左文字 克哉; 山田 篤志; 石田 昌宏
发表日期2009-04-16
专利号JP2009081373A
著作权人パナソニック株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法
英文摘要【課題】性能の低下を伴うことなく動作電圧を低くすることができる。 【解決手段】リッジ型の半導体発光素子は活性層104の上にクラッド層106と電極111とを順に有し、クラッド層106は上面にリッジ106aを有している。第1誘電体膜108がクラッド層106の上面のうちリッジ106aが形成されていない部分とリッジ106aの側面とを覆い、第2誘電体膜110が第1誘電体膜108の上面における周縁部分を覆う。第2誘電体膜110のエッチングレートは、第1誘電体膜108のエッチングレートよりも速い。 【選択図】図1
公开日期2009-04-16
申请日期2007-09-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67119]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位パナソニック株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
左文字 克哉,山田 篤志,石田 昌宏. 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法. JP2009081373A. 2009-04-16.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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