集積型マイクロ変位計
文献类型：专利
| 作者 | 日暮 栄治; 澤田 廉士; 伊藤 高廣 |
| 发表日期 | 2000-01-28 |
| 专利号 | JP2000028316A |
| 著作权人 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集積型マイクロ変位計 |
| 英文摘要 | 【課題】小型、軽量であり、慣性が小さく、振動の影響も受けにくく、個別部品の組立、光軸調整の工程を削除し、量産を可能にして低コスト化と、高信頼化を実現する集積型マイクロ変位計を提供することを目的とする。 【解決手段】半導体基板6上に、発光素子1と、二つのフォトダイオード3a、3bからなる分割受光素子2と、発光素子1の端面に結合された発光素子1からの光を測定対象物体5aへ導くための第1の光導波路4aと、測定対象物体5aからの反射光または散乱光を分割受光素子2に導くための第2の光導波路4bとが構成されている。なお、第1および第2の光導波路4a、4bは、下部クラッド、コアおよび上部クラッドの3層から構成されている。 |
| 公开日期 | 2000-01-28 |
| 申请日期 | 1998-07-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67154]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | NIPPON TELEGR & TELEPH CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 日暮 栄治,澤田 廉士,伊藤 高廣. 集積型マイクロ変位計. JP2000028316A. 2000-01-28. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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