光導波路装置及びその製造方法並びに光通信装置
文献类型：专利
| 作者 | 古村 由幸; 速水 一行; 寺川 裕佳里; 細川 速美; 高橋 敏幸; 樋口 誠良; 多田羅 佳孝; 安田 成留; 野澤 洋人 |
| 发表日期 | 2006-09-28 |
| 专利号 | JP2006259769A |
| 著作权人 | オムロン株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路装置及びその製造方法並びに光通信装置 |
| 英文摘要 | 【課題】光導波路装置の製造工程を簡略化することができ、しかも光導波路装置を高精度に製造することができ光導波路装置とその製造方法を提供する。 【解決手段】ベース基板と光導波路親基板を重ねて接合するとき、下部クラッド層18の下面とシリコン基板21bの上面との間に紫外線硬化樹脂20aを供給し、ベース基板のシリコン基板21b上面に設けられたスペーサ32を下部クラッド層18の下面に当接させる。光導波路親基板の不要部分をマスク36aで覆って紫外線硬化樹脂20aに紫外線を照射することによって光導波路親基板の光導波路領域で紫外線硬化樹脂20aを硬化させて上部クラッド層20を成形する。ついで、ダイシングブレードで光導波路親基板の不要部分と光導波路形成領域との境界を切断し、光導波路親基板の不要部分を除去する。 【選択図】図16 |
| 公开日期 | 2006-09-28 |
| 申请日期 | 2006-05-23 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67225]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | オムロン株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 古村 由幸,速水 一行,寺川 裕佳里,等. 光導波路装置及びその製造方法並びに光通信装置. JP2006259769A. 2006-09-28. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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