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光導波路集積回路装置及びその製造方法

文献类型:专利

作者岩瀬 正幸
发表日期1996-10-11
专利号JP1996264748A
著作权人FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
国家日本
文献子类发明申请
其他题名光導波路集積回路装置及びその製造方法
英文摘要【目的】 有機材料からなる光導波路を含む光集積デバイスにおいて温度変化等の影響を軽減し、信頼性向上を図る。 【構成】 基板11上に縦溝12を形成し、その内部にクラッド層13及びコア層14を有する有機材料からなる光導波路を形成する。半導体レーザ15は、基板11に別に形成された凹部16内に配置され、クラッド層14と同じ透光性有機材料で封止される。コア層14の幅は半導体レーザ15側で2μm、逆側で10μmである。透光性有機材料は、光機能素子を含む回路全体を封止するパッシベーション膜として機能する。有機材料の温度変化による伸縮に際してもコア層の位置が変化せず、光機能素子との結合の信頼性が向上する。また、光機能素子を先に配置した後に光導波路を形成することで、これらの間の光結合効率の向上が可能となる。
公开日期1996-10-11
申请日期1995-03-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67338]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
推荐引用方式
GB/T 7714
岩瀬 正幸. 光導波路集積回路装置及びその製造方法. JP1996264748A. 1996-10-11.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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