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エレクトロルミネッセンスの観察方法

文献类型:专利

作者佐々木 孝一; 鶴見 大輔
发表日期2014-05-22
专利号JP2014096444A
著作权人SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名エレクトロルミネッセンスの観察方法
英文摘要【課題】半導体発光デバイスの劣化を防止することにより、本来の故障個所を確認することができる観察方法を提供する。 【解決手段】半導体基板4、エピタキシャル半導体層6、第1電極7、及び第2電極8を含む半導体発光デバイス3と、第2電極8の上に固定されたヒートシンク2と、を有する半導体発光装置1を準備する工程S1と、ヒートシンク2、第2電極8、及び半導体基板4を部分的に研磨して、ヒートシンク2の第1研磨面27a、第2電極8の第2研磨面27b、及び半導体基板4の第3研磨面27cを含む観察面27を形成する工程S4と、観察面27を形成した後に、第1電極7と第2電極8との間の印加電流に応答するエレクトロルミネッセンスを観察面27から観察する工程S6と、を備える。 【選択図】図4
公开日期2014-05-22
申请日期2012-11-08
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67380]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
佐々木 孝一,鶴見 大輔. エレクトロルミネッセンスの観察方法. JP2014096444A. 2014-05-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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