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半導体レーザの評価方法及び半導体レーザウェハ

文献类型:专利

作者榊原 靖
发表日期1994-05-31
专利号JP1994152073A
著作权人三菱電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの評価方法及び半導体レーザウェハ
英文摘要【目的】 オンウェハで光出力-電流特性等の評価を可能とできる半導体レーザの評価方法を提供する。 【構成】 半導体レーザウェハを、評価するレーザ素子12の共振器端面前方に該レーザ素子幅方向に配列された複数のホトダイオード3を備えた構造として、レーザ素子をオンウェハで駆動して評価を行なうようにした。
公开日期1994-05-31
申请日期1992-10-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67421]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
榊原 靖. 半導体レーザの評価方法及び半導体レーザウェハ. JP1994152073A. 1994-05-31.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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