半導体装置及びその製法
文献类型：专利
| 作者 | 松本 信一; 野口 悦男; 鈴木 安弘 |
| 发表日期 | 1994-06-10 |
| 专利号 | JP1994164065A |
| 著作权人 | 日本電信電話株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体装置及びその製法 |
| 英文摘要 | (修正有) 【目的】 下記の【構成】に述べられた半導体装置において、構内に電流阻止用層としての第3の半導体層が形成され、それを夾んで電極層が形成されている半導体装置を、上記第3の半導体層を各部一様の厚さを有するように製造し、2つの光素子としての機能を満足に発揮させる。 【構成】 半導体基板1上に、半導体積層体4を形成し、その上に、第1の窓を有するマスク層を形成し、上記4に対する上記マスク層をマスクとする第1のエッチング処理によって、上記3に第2の窓を形成し、上記4に対する上記マスク層をマスクとする第2のエッチング処理によって溝を、その内面上縁が上記3の下に位置するように形成し、溝内に電流阻止用層としての第3の半導体層を、上記第2の半導体層の下面の、それに臨む領域に接して形成し、マスク層を除去し、上記半導体積層体4上に、上記第3の半導体層を夾んだ両位置において、第1及び第2の電極層を形成する順次の工程を有する。 |
| 公开日期 | 1994-06-10 |
| 申请日期 | 1992-06-24 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67523]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本電信電話株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 松本 信一,野口 悦男,鈴木 安弘. 半導体装置及びその製法. JP1994164065A. 1994-06-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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