窒化ガリウム結晶の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 油利 正昭; 上田 哲三; 馬場 孝明 |
| 发表日期 | 1998-10-27 |
| 专利号 | JP1998287496A |
| 著作权人 | 松下電器産業株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 窒化ガリウム結晶の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 平坦性、結晶性に優れた窒化ガリウム厚膜結晶を提供する。 【解決手段】 窒化ガリウム結晶の製造工程に、ガリウムを含むガス雰囲気中でシリコン基板1を加熱する第一の工程と、前記シリコン基板1上に第一の窒化ガリウム3を形成する第二の工程と、前記第一の窒化ガリウム3上に前記第一の窒化ガリウム3の形成温度よりも高温で第二の窒化ガリウム4を形成する第三の工程とを備える。 |
| 公开日期 | 1998-10-27 |
| 申请日期 | 1997-04-09 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67568]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 松下電器産業株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 油利 正昭,上田 哲三,馬場 孝明. 窒化ガリウム結晶の製造方法. JP1998287496A. 1998-10-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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