面発光レーザ、波長フィルタ、およびそれらの製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 湯田 正宏; 大礒 義孝 |
| 发表日期 | 2005-02-24 |
| 专利号 | JP2005050990A |
| 著作权人 | 日本電信電話株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 面発光レーザ、波長フィルタ、およびそれらの製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 エアーギャップと半導体のペアで構成されるDBRミラーを持つ面発光レーザおよび波長フィルタを構成する層の層厚のエピタキシャル成長におけるrun-to-runのバラツキ、ウェハの面内バラツキに対する制限を緩和し、面発光レーザおよび波長フィルタの製作の歩止まりを向上させることができる、面発光レーザ、波長フィルタ、およびそれらの製造方法を提供する。 【解決手段】 エアーギャップ2A1、2C1、4A1と半導体2B、4Bとを交互に積層した反射鏡2、4をもつ面発光レーザにおいて、キャビティを構成する半導体層の少なくとも片方のエアーギャップ側に、共振波長調整用の半導体層3B2、3C2を具備する。 【選択図】 図2 |
| 公开日期 | 2005-02-24 |
| 申请日期 | 2003-07-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67610]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本電信電話株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 湯田 正宏,大礒 義孝. 面発光レーザ、波長フィルタ、およびそれらの製造方法. JP2005050990A. 2005-02-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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