半導体表面処理用治具
文献类型：专利
| 作者 | 玄永 康一; 佐藤 文明; 飯田 清次 |
| 发表日期 | 1999-11-16 |
| 专利号 | JP1999317565A |
| 著作权人 | TOSHIBA CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体表面処理用治具 |
| 英文摘要 | 【課題】 従来、コーティングむらを防止するため、レーザバーの間にレーザバーより若干幅の狭い短冊形のスペーサを使用していたが、レーザバーは2つの端面を有しており、いずれの端面上にも成膜する必要があるため、この構造では、片側の端面の光学薄膜を成膜するごとにレーザバーとスペーサをいったん取り外してから装着し、整列し直さなければならず、この作業は非常に煩雑であり、生産性を損ねる。 【解決手段】 レーザバーとレーザバーとの間にはさみこむスペーサの形状として、レーザバーの光学薄膜を成膜する端面に隣接するスペーサの端面に、レーザバーと接触する面に沿って略平行な切欠きを設け、かつ、レーザバーの発光点が存在する半導体多層膜が積層された面とスペーサの切欠きが存在する面とを重ね合せるようにし、かつレーザバーとスペーサを装着するためのコの字型の溝を対向させた半導体表面処理用治具にレーザバーとスペーサを交互に溝にはめ込むようにして積み重ねて装着する。 |
| 公开日期 | 1999-11-16 |
| 申请日期 | 1998-05-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67746]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | TOSHIBA CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 玄永 康一,佐藤 文明,飯田 清次. 半導体表面処理用治具. JP1999317565A. 1999-11-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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