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半導体光部品の製造方法

文献类型:专利

作者小野 卓宏; 柳川 久治
发表日期1993-06-11
专利号JP1993142590A
著作权人FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体光部品の製造方法
英文摘要【目的】 高効率で光増幅を行う半導体光部品を提供する。 【構成】 同一基板の上に所望半導体の薄層を積層して成る半導体光アンプ部と半導体光導波路部とを集積する半導体光部品の製造方法において、前記半導体アンプ部を形成すべき前記基板11の相当個所に溝12を刻設したのちその上に前記半導体アンプ部A1(A2)を形成し、ついで前記相当個所以外の残余個所に前記半導体光導波路部Bを形成する半導体光部品の製造方法。 【効果】 光アンプ部における光の閉じ込み状態は強くなるので光増幅は高効率である。
公开日期1993-06-11
申请日期1991-11-22
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67782]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
推荐引用方式
GB/T 7714
小野 卓宏,柳川 久治. 半導体光部品の製造方法. JP1993142590A. 1993-06-11.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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