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光半導体素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者佐々木 善浩
发表日期1999-06-18
专利号JP1999163465A
著作权人日本電気株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名光半導体素子及びその製造方法
英文摘要【課題】 回折格子をその内部に備える光半導体素子において端面での回折格子の位相を制御する。 【解決手段】 劈開されて光半導体素子が複数形成されるウェハ1に、その横幅寸法の調整によって光半導体素子の端面での前記回折格子の位相が決定される劈開用V溝102を備えた。
公开日期1999-06-18
申请日期1997-11-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/69390]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電気株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
佐々木 善浩. 光半導体素子及びその製造方法. JP1999163465A. 1999-06-18.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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