半導体レーザ素子およびその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 矢吹 義文 |
| 发表日期 | 2002-06-07 |
| 专利号 | JP2002164600A |
| 著作权人 | SONY CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 歩留りを向上させると共に、本来的なレーザ特性を発揮することが可能となる半導体レーザ素子およびその製造方法を提供する。 【解決手段】 基板11の分離位置101にエッチングを施し、幅が20μm以下の分離溝102Aを形成する。次いで、この基板11の上にローラ206を転動させると、基板11は分離溝102Aを基点として容易に分割され、その分離面102Bは平坦面となる。幅が狭い分離溝102Aはエッチングにより簡便に、高い精度で形成され、また、基板11は分離位置101において分離溝102Aの幅ほどの精度で分離されるために、分離位置101の精度が従来よりも飛躍的に向上する。 |
| 公开日期 | 2002-06-07 |
| 申请日期 | 2000-11-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/69592]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SONY CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 矢吹 義文. 半導体レーザ素子およびその製造方法. JP2002164600A. 2002-06-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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