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面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、及び画像形成装置

文献类型:专利

作者沼田 雅之
发表日期2014-05-19
专利号JP2014093461A
著作权人株式会社リコー
国家日本
文献子类发明申请
其他题名面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、及び画像形成装置
英文摘要【課題】歩留まりを向上できる面発光レーザ素子を提供する。 【解決手段】 面発光レーザ素子100は、基板101と、該基板101上に積層された第1反射鏡103と、該第1反射鏡103上に積層された活性層105と、該活性層105上に積層された、複数の半導体層を含む第2反射鏡107と、該第2反射鏡107上に積層されたコンタクト層109とを含む積層体がエッチングされて形成されたメサと、該メサの頂面及び側面に沿って形成された、活性層に電流を供給するための金属配線110と、を備えている。そして、第2反射鏡107の複数の半導体層のうちのコンタクト層109の直下に位置する一の半導体層は、複数の半導体層のうちの一の半導体層以外の半導体層よりもエッチング選択比が小さい。 【選択図】図3
公开日期2014-05-19
申请日期2012-11-06
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70138]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社リコー
推荐引用方式
GB/T 7714
沼田 雅之. 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置、及び画像形成装置. JP2014093461A. 2014-05-19.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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