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レーザ加工装置

文献类型:专利

作者藤原 淳志; 渡邉 正樹; 内山 貴之; 吉田 治正
发表日期2017-04-06
专利号JP2017069379A
著作权人HAMAMATSU PHOTONICS KK
国家日本
文献子类发明申请
其他题名レーザ加工装置
英文摘要【課題】半導体レーザを冷却するために冷却水が循環供給されるヒートシンクの内壁面に金属が付着するのを抑制することができるレーザ加工装置を提供する。 【解決手段】レーザ加工装置1は、加工用のレーザ光を出射する半導体レーザ(半導体レーザスタックモジュール10)と、半導体レーザに熱的且つ電気的に接続されたヒートシンク(半導体レーザスタックモジュール10)と、ヒートシンクに循環供給される冷却水Wを貯留する貯留槽22を含み、通気部23において外気との通気が確保された循環流路2と、循環流路2に設けられ、循環流路2において冷却水Wを流通させるポンプ21と、循環流路2に設けられ、冷却水Wの導電率を調整するイオン交換器24と、循環流路2に設けられ、冷却水Wが接触させられる陽極及び陰極を有する金属捕獲部30と、を備える。 【選択図】図1
公开日期2017-04-06
申请日期2015-09-30
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70244]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HAMAMATSU PHOTONICS KK
推荐引用方式
GB/T 7714
藤原 淳志,渡邉 正樹,内山 貴之,等. レーザ加工装置. JP2017069379A. 2017-04-06.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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