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一种样品测试/处理装置

文献类型:专利

作者吴建耀; 宋克昌; 杨国文
发表日期2015-12-23
专利号CN105180986A
著作权人西安立芯光电科技有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种样品测试/处理装置
英文摘要本发明提供一种样品测试/处理装置,能够解决现有技术系统复杂、庞大以及效率较低的问题。该样品测试/处理装置,包括基础结构件、作业台、样品架、样品架支撑机构、控制器和多个工艺处理单元,其中基础结构件、作业台、样品架自上而下依次布置;所述样品架支撑机构用于配合连接并锁紧样品架;所述多个工艺处理单元均固定安装于作业台,作业台与基础结构件连接固定,基础结构件上设置有统一的作业线路连接口,作业台在竖直方向上具有与所述作业线路连接位置对应的贯通孔道;所述样品架支撑机构自作业台下方穿过所述贯通孔道伸出,并连接有水平旋转驱动机构和升降驱动机构以实现样品架支撑机构的水平旋转和垂直升降功能。
公开日期2015-12-23
申请日期2015-09-25
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70387]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位西安立芯光电科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
吴建耀,宋克昌,杨国文. 一种样品测试/处理装置. CN105180986A. 2015-12-23.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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