脉冲激光溅射沉积PZT膜
文献类型：会议论文
| 作者 | 冯钟潮 ; 赵岩 ; 钟志源 |
| 出版日期 | 1999-10 |
| 会议名称 | 第五届全国激光加工学术报告会 |
| 会议日期 | 1999-10 |
| 会议地点 | 济南 |
| 关键词 | PZT薄膜 脉冲激光溅射沉积 压电陶瓷 |
| 中文摘要 | 利用脉冲激光溅射沉积PZT压电陶瓷薄膜。着重研究了制备过程对膜层成分和结构的控制。 |
| 会议主办者 | 中国光学学会 |
| 会议录 | 应用激光<1999.5>
 |
| 会议录出版者 | 中国光学学会 |
| 会议录出版地 | 济南 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/69356]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,赵岩,钟志源. 脉冲激光溅射沉积PZT膜[C]. 见:第五届全国激光加工学术报告会. 济南. 1999-10. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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