Pre-fusion oxidized and wafer-bonded vertical cavity laser
文献类型：专利
| 作者 | STREUBEL, KLAUS |
| 发表日期 | 2003-12-23 |
| 专利号 | US6668005 |
| 著作权人 | MELLANOX TECHNOLOGIES LTD. |
| 国家 | 美国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | Pre-fusion oxidized and wafer-bonded vertical cavity laser |
| 英文摘要 | It was proposed to combine two successful VCL technologies, wafer fusion and selective oxidation, in a new way to form a long wavelength VCL. The Al(ga)As oxidation is performed via fusion channels before the actual wafer fusion step. By doing so, the structure combines the advantages of two different, successful long wavelength VCL structures; the double fused and the single fused, oxygen implanted VCL. |
| 公开日期 | 2003-12-23 |
| 申请日期 | 2001-04-11 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/71580]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MELLANOX TECHNOLOGIES LTD. |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | STREUBEL, KLAUS. Pre-fusion oxidized and wafer-bonded vertical cavity laser. US6668005. 2003-12-23. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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