一种垂直腔面发射激光器
文献类型：专利
| 作者 | 陈柱元; 罗玉辉 |
| 发表日期 | 2019-03-26 |
| 专利号 | CN109524878A |
| 著作权人 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括衬底，在衬底上依次层叠有基板、底部n型DBR反射镜、第一氧化限制层、n型引导间隔层、有源区层、p型渐变间隔层、第二氧化限制层、第一间隔层、第三氧化限制层、第二间隔层、第四氧化限制层、第三间隔层、第五氧化限制层、第四间隔层、第六氧化限制层、第五间隔层、第七氧化限制层、第六间隔层、第八氧化限制层、顶部p型DBR反射镜、p型接触层和p侧电极；在衬底远离基板的一面设有n侧电极。其优点在于：能够稳定实现单模运行，并且具有低光学损耗、低能耗和低寄生电容的优点。 |
| 公开日期 | 2019-03-26 |
| 申请日期 | 2018-12-05 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72411]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈柱元,罗玉辉. 一种垂直腔面发射激光器. CN109524878A. 2019-03-26. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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