一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 范鑫烨; 姜夕梅; 白成林; 房文敬; 牛慧娟 |
| 发表日期 | 2019-09-24 |
| 专利号 | CN107240857B |
| 著作权人 | 聊城大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开一种垂直腔面发射激光器及其制作方法。其中，所述激光器包括：依次层叠的N电极、衬底、第一缓冲层、第一分布布拉格反射镜组、有源层、第二分布布拉格反射镜组和第二缓冲层，对第二缓冲层、第二分布布拉格反射镜组和有源层进行刻蚀形成的圆柱形台体以及围绕所述圆柱形台体的第一分布布拉格反射镜组的部分表面，在圆柱形台体的侧壁和部分表面上形成的掩膜，和位于第二缓冲层上的P电极；本发明提供的垂直腔面发射激光器及其制作方法，通过有源层的量子阱结构、第一分布布拉格反射镜组和第二分布布拉格反射镜组，实现超窄线宽和平顶陡边光谱响应，能够降低VCSEL的阈值电流，提高光电转换效率。 |
| 公开日期 | 2019-09-24 |
| 申请日期 | 2017-06-28 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72571]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 聊城大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范鑫烨,姜夕梅,白成林,等. 一种垂直腔面发射激光器及其制作方法. CN107240857B. 2019-09-24. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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