透明材料激光内部雕刻装置
文献类型：专利
| 作者 | 朱晓; 朱长虹; 齐丽君; 朱广志 |
| 发表日期 | 2007-12-05 |
| 专利号 | CN100352673C |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 透明材料激光内部雕刻装置 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种透明材料激光内部雕刻装置，包括激光器、扩束镜、第一振镜、第二振镜、F-θ聚焦镜和计算机，激光器包括全反镜、声光调Q器件、半导体泵浦模块、倍频晶体、输出镜，全反镜镀有基频光全反膜层，或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层，输出镜同时镀有对基频光透过率为4%～10%和对倍频光全透的膜层，激光器产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出；计算机控制第一振镜、第二振镜分别在X、Y方向上快速振动，使经过扩束镜的激光束在XY方向扫描运动，控制一维电控位移台实现F-θ聚焦镜或透明材料在Z方向上的运动。本发明激光输出模式好，光功率稳定、效率高；雕刻速度快，适合进行大幅面透明材料的雕刻。 |
| 公开日期 | 2007-12-05 |
| 申请日期 | 2004-07-04 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73102]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱晓,朱长虹,齐丽君,等. 透明材料激光内部雕刻装置. CN100352673C. 2007-12-05. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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