透明材料激光内部雕刻设备
文献类型:专利
作者 | 朱晓; 朱长虹; 齐丽君; 朱广志 |
发表日期 | 2008-02-06 |
专利号 | CN100366444C |
著作权人 | 华中科技大学 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 透明材料激光内部雕刻设备 |
英文摘要 | 本发明提供了一种透明材料激光内部雕刻设备,包括激光器、扩束镜、两个光束偏转镜、聚焦镜和计算机。激光器包括全反镜、声光调Q器件、半导体泵浦模块、倍频晶体、输出镜,全反镜镀有基频光全反膜层,或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层,输出镜镀有对基频光透过率为4%~10%和对倍频光全透的膜层,声光调Q器件电源调节声光调Q器件的驱动频率,产生1~10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出,计算机控制xy工作台,实现第一光束偏转镜、第二光束偏转镜和聚焦镜在X、Y方向上的运动,控制一维电控位移台,实现聚焦镜或透明材料在Z方向上的运动。本发明激光输出模式好,光功率稳定、效率高;雕刻速度快,适合进行大幅面透明材料的雕刻。 |
公开日期 | 2008-02-06 |
申请日期 | 2004-07-04 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73104] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 华中科技大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱晓,朱长虹,齐丽君,等. 透明材料激光内部雕刻设备. CN100366444C. 2008-02-06. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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