レーザ加熱装置
文献类型：专利
| 作者 | 植松 忠之; 千葉 貴史; 寺田 昌男; 坂口 功 |
| 发表日期 | 2006-09-21 |
| 专利号 | JP2006247696A |
| 著作权人 | 株式会社アルファ·オイコス |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | レーザ加熱装置 |
| 英文摘要 | (修正有) 【課題】半導体基板等を高温で均一に加熱することができるレーザ加熱装置を提供する。 【解決手段】レーザダイオードバーを複数積層せしめて形成したレーザ発振器3と、上記レーザ発振器と被加熱物4との間に介挿した光学レンズ系5とより成り、この光学レンズ系は、レーザ発振器3の速軸方向では上記各レーザダイオードバーのレーザ出口に設けたコリメートレンズ6と、上記被加熱物側に向かうに従って順番に配置せしめた凸レンズ7、フライアイレンズ8とより成り、上記コリメートレンズにより出た平行光を、上記凸レンズ、フライアイレンズを通過せしめた後に集光せしめてからデフォーカスして被加熱物4に照射せしめ、レーザ発振器3の遅軸方向では上記レーザ出口から出たレーザ光を出射角度のまま第1の絞りにより整形し被加熱物に照射せしめ、上記レーザ発振器の速軸方向での上記光学レンズ系5の集光点近傍にレーザ光を通過する第2の絞り9を有する。 【選択図】図2 |
| 公开日期 | 2006-09-21 |
| 申请日期 | 2005-03-10 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73112]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社アルファ·オイコス |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 植松 忠之,千葉 貴史,寺田 昌男,等. レーザ加熱装置. JP2006247696A. 2006-09-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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