一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪
文献类型：专利
| 作者 | 秦朝朝; 王腾远; 武佳美; 茹媛; 徐潇雅; 高怡雯 |
| 发表日期 | 2018-12-07 |
| 专利号 | CN108955516A |
| 著作权人 | 河南师范大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪，包括相干光源及偏振延迟系统和同步移相系统，相干光源及偏振延迟系统1包括半导体激光器、1/2波片、第一1/4波片、第一全反镜、第二1/4波片、第二全反镜、偏振分光棱镜、一维导轨，同步移相系统包括反射镜、第一光阑、第一透镜、第三1/4波片、第二透镜、第二光阑、偏振片组、第三透镜、CCD、数据采集卡、计算机和二维正交全息光栅，激光器和偏振分光棱镜之间设置有1/2波片，偏振分光棱镜和第一全反镜、第二全反镜之间分别设置有第一1/4波片和第二1/4波片。本发明可有效的解决振动产生对测量结果的影响问题，具有超强的抗干扰能力，并且能够实现高精度的测量。 |
| 公开日期 | 2018-12-07 |
| 申请日期 | 2018-08-08 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73654]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 河南师范大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 秦朝朝,王腾远,武佳美,等. 一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪. CN108955516A. 2018-12-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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