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半導体レーザ素子の製造方法

文献类型:专利

作者築地 直樹
发表日期1994-03-18
专利号JP1994077600A
著作权人FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子の製造方法
英文摘要【目的】 リーク電流が減少した安定した特性の半導体レーザ素子が歩留り良く得られ、また、工程が簡略化した半導体レーザ素子の製造方法を提供する。 【構成】 p型InP基板21面上にメサストライプを形成し、前記メサストライプの側面に、n型電流狭窄層27をその上面がメサストライプ上面よりも下に位置するように形成し、次いで、p型電流狭窄層28をその上面がメサストライプ上面よりも上に位置するように形成し、次いで、メサストライプ上面にp型InPクラッド層22、In1-x Gax Asy P1-y 活性層23、n型InPクラッド層24を順次積層する。
公开日期1994-03-18
申请日期1992-08-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73796]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
推荐引用方式
GB/T 7714
築地 直樹. 半導体レーザ素子の製造方法. JP1994077600A. 1994-03-18.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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