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半導体装置の製造方法

文献类型:专利

作者山本 知生
发表日期2003-04-25
专利号JP3421836B2
著作权人日本電信電話株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体装置の製造方法
英文摘要【課題】 pn接合のシフトがなく、かつ高品質の発光層を有する半導体レーザの半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 発光層の下部ガイド層を成長する際のドーパントとしてSeもしくはSを用いる。また、発光層の上部ガイド層を成長する際のドーパントとしてSiを用いる構成とした。
公开日期2003-06-30
申请日期1998-07-14
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/74042]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
山本 知生. 半導体装置の製造方法. JP3421836B2. 2003-04-25.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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